Sistema di deposizione Ion Beam Sputtering I-Photonics LIDIZ con assistenza ionica. L’apparato consente la deposizione di film sottili ottici di materiali ossidi o nitruri sia in modalità reattiva che non reattiva. Il sistema è equipaggiato con un sistema di controllo computerizzato del processo e varie diagnostiche in linea tra cui un monitor ottico, una microbilancia al quarzo, un ellissometro ottico. Inoltre è possibile eseguire la deposizione di materiali a composizione variabile e mantenendo il campione a temperatura controllata.

Responsabile scientifico: Da definire
Responsabile della didattica e della ricerca in laboratorio (RDRL): Marco Bazzan 
Preposto: Da definire